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「EUV （极紫外光刻）」是一项什么样的技术？ - 知乎

换句话说， 短波长光源、大数值孔径透镜是提高光刻机曝光分辨力的最有效方法！. 这也是芯片制作者为什么要使用短波长光源技术：EUV （极紫外光刻）的原因。. 2. 深紫外技术到极紫外技术的过渡. 早期光学曝光采用的光源是汞灯，汞灯是一种宽频光源，它在 ...